高纯石墨板：半导体与光伏制造的关键材料

在半导体、太阳能光伏等精密制造领域，高纯石墨板是保障产品良率与性能的核心热场材料。

高纯石墨板

1. 为什么选择高纯石墨板？

• 超高纯度：碳含量 ≥99.99%，灰分 <0.01%，避免杂质污染晶圆与硅棒。

• 热场均匀稳定：高温下形变小、热导率高、抗热震，保证单晶生长与扩散工艺稳定。

• 洁净无析出：高温真空下无挥发、无金属污染，符合半导体 / 光伏洁净标准。

• 长寿命：耐高温、耐冲刷、耐腐蚀，使用寿命是普通材料的 3–5 倍。

2. 典型应用

• 半导体单晶炉：坩埚、加热器、隔热屏、承载盘。

• 光伏单晶硅 / 多晶硅炉：热场组件、导流筒、保温筒。

• 晶圆热处理：扩散炉板、退火盘、刻蚀设备部件。

• LED 与电子器件：散热基板、烧结载具。

3. 我司技术优势

• 原料纯化：采用高端石油焦 / 针状焦 + 高温纯化工艺。

• 等静压成型：密度均匀 1.75–1.88 g/cm³，无内部缺陷。

• 精密加工：平面度、平行度可达 ±0.01mm，表面光洁度 Ra≤0.8μm。

• 定制化：可按图纸加工各种异形件、拼块、多孔结构。

高纯石墨板决定高端制造的精度、效率与寿命。我司以稳定品质助力半导体与光伏产业升级。